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超純水處理
作者： 發(fā)布時間：2020-05-02 16:56:00點擊：2894
半導(dǎo)體晶圓加工必須用到大量高質(zhì)量的去離子水，用于混合一些工藝化學(xué)品，并在下一步工藝之前沖洗晶圓。精密過濾器用于去除較大的顆粒并為反滲透系統(tǒng)提供保護(hù)。親水過濾器是在RO之后使用的，并且經(jīng)常在漂洗應(yīng)用中使用。
全聚丙烯精密過濾器可以防止較大顆粒，為反滲透提供保護(hù)。我們的精密過濾器系列的精度可達(dá)0.02微米，并且確保用于關(guān)鍵應(yīng)用的去離子水不含有限制的顆粒。
ZTEC微電子級濾芯代表了我們在超純水技術(shù)方面的較新進(jìn)展。 過濾膜本身具有親水性，不含可能污染純水和超純水的表面活性劑或潤濕劑。 PES膜具有優(yōu)異的流動特性，高納污能力和亞微米顆粒去除能力。
樹脂捕捉過濾器可防止離子交換床釋放的潛在災(zāi)難性下游污染物。
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